特點(diǎn)：
1、可更換清洗吸盤(pán)，可使用4-12英寸的清洗吸盤(pán)；
2、操作程序可按作業(yè)需求編寫(xiě)調(diào)整，設(shè)備運(yùn)行流程、清洗時(shí)間及各項(xiàng)參數(shù)可自行編制；
3、設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)及參數(shù)在線實(shí)時(shí)監(jiān)控，自動(dòng)門(mén)配有安全光柵，保證操作安全；
4、采用真空吸附式清洗盤(pán)，晶元夾具的取放更安全、方便；
5、擺臂式清洗，清洗范圍可編制，適用范圍廣、無(wú)清洗盲區(qū)、無(wú)二次污染，清洗效果更佳；
6、設(shè)備清洗室全密封，且配有自動(dòng)擋水圈，有效防止二次污染；
7、高速離心設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)速可調(diào)節(jié)100-2000R/Min；
8、配備獨(dú)特的靜電消除裝置，輔助清洗達(dá)到最佳效果，可選擇使用氮?dú)猓?/p>
9、設(shè)備配有大面積透明觀察窗；
10、縮減寬度的省空間設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小；
11、整機(jī)鏡面不銹鋼機(jī)身，能耐酸堿，對(duì)工作環(huán)境無(wú)污染，鏡面機(jī)殼易于保養(yǎng)。
規(guī)格參數(shù)：
| 設(shè)備外觀尺寸： | 620mm（L）×760mm（W）×1600mm（H） | |
| 清洗盤(pán)規(guī)格： | 4-12英寸（可選） | |
| 清洗盤(pán)尺寸： | 定制 | |
| 純水入口徑： | 外徑Ø8mm純水軟管 | |
| 排水出口徑： | 3/4″軟管 | |
| 氣源入口徑： | Ø12mm PU氣管 | |
| 排風(fēng)口口徑： | 2.5″皮管接頭（75mm外徑） | |
| 電源供應(yīng)： | AC220V; 50HZ ;5A | |
| 總功率： | 1.5KW | |
| 耗電量： | 清洗時(shí): 1.5kw/h | 待機(jī)時(shí): 0.5kw/h |
| 氣源供應(yīng)： | 0.45-0.7Mpa | |
| DI水供應(yīng)： | ＞0.35Mpa | |
| 清洗壓力： | 3.8-8Kgf/cm² | |
| 離心轉(zhuǎn)速： | 100-2000R/Min | |
| 傳動(dòng)馬力： | 1HP | |
| 純水消耗量： | 0-1000ML/Min | |
| 氣體消耗量： | 200-500L/Min | |
| 空氣過(guò)濾方式： | 一級(jí)0.01μm除油過(guò)濾器；二級(jí)0.01μm精密過(guò)濾器 | |
| 環(huán)境過(guò)濾方式： | 0.3μm；99.99% | |
| 機(jī)器凈重： | 約200KG | |
清洗機(jī)工藝
放入物料---一鍵清洗開(kāi)始，安全門(mén)自動(dòng)關(guān)閉---二流體清洗---離心脫水（去靜電離子風(fēng)與加熱腔體輔助干燥)
---清洗完畢---報(bào)警提示---玻璃門(mén)自動(dòng)打開(kāi)。
采用高速離心設(shè)計(jì)，主要使用于4-12英寸的硅晶圓片的精密清洗；
搭配二流體清洗、靜電消除/氮?dú)狻?高速離心等裝置，使被清洗件達(dá)到干燥、潔凈的目的。
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